PR500/510等離子灰化機|PR500/510等離子清洗機

• 商品名稱(chēng)：PR500/510等離子灰化機|PR500/510等離子清洗機
• 商品編號：YQC001171
• 品牌：YAMATO雅馬拓
• 上架時(shí)間：2021-06-23
• 商品毛重：0克

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高頻輸出 50~500W 反應腔 Φ215×305mm

低溫等離子

PR500：手動(dòng)控制

PR510：自動(dòng)觸摸屏控制
低溫等離子的經(jīng)典款非常具有歷史性。采用自動(dòng)協(xié)調功能及觸摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設備。

用途

●去除光刻膠
● 部品清洗
● 界面活性處理
● 微研磨
● 硅晶圓，玻璃基板對應

特征

● 大口徑（Φ215mm）石英反應腔
● 小型一體化設計
● 操作簡(jiǎn)單的觸摸屏方式（PR510型）

內槽

硅晶圓灰化狀態(tài)

規格

型號		PR500	PR510
模式		DP模式，桶型
控 制 部	高頻輸出功率	Max500W
	頻率	13.56MHz
	同調方式	自動(dòng)協(xié)調
反 應 部	反應腔	石英 Φ215×305mm
	反應氣體	2系統（O 2 ／CF 4 ）
	控制	手動(dòng)	觸摸屏自動(dòng)控制
	配管材質(zhì)	不銹鋼、特氟龍
外形尺寸		W438×D520×H760mm	參照規格書(shū)
重量		約60kg	參照規格書(shū)
電源		單相AC100V 9A	三相AC200V 8A

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