- 商品名稱(chēng)：等離子清洗機YSP600U/2KU
- 商品編號：YQC001912
- 品牌：YAMATO雅馬拓
- 上架時(shí)間：2019-08-01
- 商品毛重：0克
如果您發(fā)現商品信息不準確，歡迎糾錯；樣品傳輸系統為模塊式，便于組合。特點(diǎn)
- 體積小，節省空間。
- 選用小型腔體，反應效率高。
- 更容易嵌入生產(chǎn)線(xiàn)使用。
- 可通過(guò)操作面板自由切換等離子模式。
- 配備冷卻反應臺。
技術(shù)參數
型號
YSP600U
YSP2KU
模式
RIE（DP模式選購）
高頻輸功率
600W
2000W
反應臺尺寸
W300×D300mm
W600×D600mm
反應氣體
2進(jìn)氣系統（氧氣、氬氣）
反應氣體流量控制
質(zhì)量流量控制器
氣體導入口
反應氣體2個(gè)、填充氣體1個(gè)、空氣1個(gè)
- 暫無(wú)資料
