雅馬拓等離子清洗機 YSP63FA

• 商品名稱(chēng)：雅馬拓等離子清洗機 YSP63FA
• 商品編號：YQC001913
• 品牌：YAMATO雅馬拓
• 上架時(shí)間：2019-08-01
• 商品毛重：0克

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可進(jìn)行樣品傳輸系統定制。

特點(diǎn)

• 操作快捷方便：放入樣品收納盒、自動(dòng)處理、取出收納盒。
• 軟性基板也可以進(jìn)行傳送操作。
• 傳送速度可在Hi-Low間調節。

• 可通過(guò)網(wǎng)絡(luò )進(jìn)行遠程操作（選購品）。

型號	YSP63FA
模式	RIE（DP模式選購）
高頻輸功率	600W
反應臺尺寸	W385×D362mm
內腔尺寸	W395×D378×H45mm（內尺寸）
反應氣體	2進(jìn)氣系統（氧氣、氬氣）
反應氣體流量控制	質(zhì)量流量控制器
真空泵	旋轉式真空泵（約500L/min）
氣體導入口	反應氣體2個(gè)、填充氣體1個(gè)、空氣1個(gè)
外形尺寸	W1860×D1100×H1800mm

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